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陰極發光是由電子束轟擊樣品時產生的可見光，不同礦物由于含有不同的激活劑元素而產生不同的陰極發光，用來激發并產生陰極發光的裝置叫做陰極發光裝置，把這種陰極發光裝置裝在顯微鏡上則成為陰極發光顯微鏡，可以廣泛地應用于巖石、礦物的鑒定以及成巖作用的研究。

巖相分析顯微鏡是一種用于觀察和研究巖石樣本的顯微鏡。它通常具有偏光功能，能夠對光線進行偏振和交叉偏振，并且常常配備有附加的偏光板、濾光片和物鏡。